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Title:
超音波探触子とその製造方法及び超音波診断装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011132531
Kind Code:
A1
Abstract:
バッキング層とCMUT部の接合部分に生じる熱応力によるCMUT部の反りを抑制して、CMUT部とバッキング層の接着の耐久性を向上する。そのために、印加されるバイアス電圧に応じて電気機械結合係数または感度を変化する振動要素を有するCMUT部20と、CMUT部20の超音波送信面の背面側に接着するバッキング層22と、バッキング層22を挟むようにCMUT部20と対向配置されバッキング層22に接着するCMUT部20とバッキング層22との間に生じる熱応力によるCMUT部20の反りを抑制する熱応力バランス材24と、を備える。

Inventors:
Akifumi Sako
Shin Fukada
Issei Ishida
Application Number:
JP2012511603A
Publication Date:
July 18, 2013
Filing Date:
April 06, 2011
Export Citation:
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Assignee:
Hitachi Medical Co., Ltd.
International Classes:
A61B8/00; G01N29/24; H04R19/00; H04R31/00
Domestic Patent References:
JP2008538716A2008-11-06
JP2004329495A2004-11-25
JP2000165995A2000-06-16
JP2006061696A2006-03-09
JP2005103078A2005-04-21
JP2006033801A2006-02-02
JP2007007262A2007-01-18
JP2008084965A2008-04-10
Foreign References:
WO2006062164A12006-06-15
WO2010011034A12010-01-28
WO2009069555A12009-06-04



 
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