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Patent Searching and Data


Title:
形状測定装置及び形状測定方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011145319
Kind Code:
A1
Abstract:
不適切なデータが測定結果に与える影響を確実に抑えることを目的として、形状測定装置は、共通の繰り返し構造を有し、かつ位相の異なるパターンを測定対象物上へ順次投影する投影部と、前記パターンの各々が前記測定対象物へ投影される毎に前記測定対象物を異なる露光量で撮像して複数の画像データセットを取得する撮像部と、前記複数の画像データセットの中から、前記撮像部の入出力特性が線形となる有効輝度範囲内にセット内の全データが収まっているものを適正データセットとして選出することを前記測定対象物の各領域についておこなう選出部と、前記選出された適正データセットに基づいて前記領域毎に形状を求める形状算出部と、を備える。

Inventors:
青木 洋
Application Number:
JP2012515746A
Publication Date:
July 22, 2013
Filing Date:
May 16, 2011
Export Citation:
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Assignee:
株式会社ニコン
International Classes:
G01B11/25; G06T1/00
Attorney, Agent or Firm:
古谷 史旺
森 俊秀