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Patent Searching and Data


Title:
MEMSスイッチ
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2012043464
Kind Code:
A1
Abstract:
可動端子が設けられた可撓レバーのレバー主層に半導体材料を用いた場合でもアイソレーションの悪化を極力抑制できるMEMSスイッチを提供する。MEMSスイッチ10-1は、両信号層16及び17が導通していない状態において、可撓レバーFLのレバー主層13bと第1固定端子16aとの間に形成される寄生容量、並びに、可撓レバーFLのレバー主層13bと第2固定端子17aとの間に形成される寄生容量を抑制するための、寄生容量抑制部RPC11、RPC12及びRPC13を備える。【選択図】図3

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Inventors:
藤井 知徳
入枝 泰成
中村 健太郎
高野 貴之
太田 謙一
荻野 剛士
Application Number:
JP2012514283A
Publication Date:
February 06, 2014
Filing Date:
September 26, 2011
Export Citation:
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Assignee:
太陽誘電株式会社
International Classes:
H01H57/00