Title:
（アミドアミノアルカン）金属化合物、及び当該金属化合物を用いた金属含有薄膜の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2012060428
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、一般式（１）（式中、Ｍは金属原子を示し、Ｒ１は炭素原子数１〜６の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基を示し、Ｒ２及びＲ３は同一でも異なっていても良く、炭素原子数１〜３の直鎖状又は分岐状のアルキル基を示すか、または、Ｒ２及びＲ３が一緒になってそれらが結合する窒素原子と共に置換もしくは無置換の５員又は６員環を形成している。Ｚは炭素原子数１〜１０の直鎖状又は分岐状のアルキレン基（但し、その一部が環を形成していてもよい）を示す。ｎは配位子の数を示し、金属Ｍの価数に等しく、１〜３の整数を示す。但し、ＭがＬｉ（リチウム）、Ｂｅ（ベリリウム）、Ｇｅ（ゲルマニウム）、Ｎｄ（ネオジム）である場合、ＭがＭｇ（マグネシウム）であり、Ｒ１がメチル基である場合、ＭがＺｎ（亜鉛）であり、Ｒ１がメチル基である場合、及びＭがＢｉ（ビスマス）であり、Ｒ１がｔ−ブチル基である場合を除く。また、ｎが２以上の場合、２つ以上の配位子は同一でも異なっていてもよい。）で示される（アミドアミノアルカン）金属化合物、及び当該金属化合物を用いた金属含有薄膜の製造方法に関する。
Inventors:
Fujimura Sei
Hiroki Kanto
Masashi Shirai
Nihei central
Hiroki Kanto
Masashi Shirai
Nihei central
Application Number:
JP2012541903A
Publication Date:
May 12, 2014
Filing Date:
November 02, 2011
Export Citation:
Assignee:
Ube Industries,Ltd.
International Classes:
C07F1/04; C07F3/02; C07F3/06; C07F5/00; C07F13/00; C07F15/02; C07F15/04; C07F15/06; C23C16/18; C23C16/40
Attorney, Agent or Firm:
Katsuhiro Ito
Akiko Ono
Akiko Ono