Title:
差圧センサ
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2012102073
Kind Code:
A1
Abstract:
簡素な構成で圧力変動を測定することができる差圧センサを提供する。空気室と、当該空気室の内外を連通する開口とが形成された本体と、前記開口に設けられた検知部とを備え、前記検知部は、前記開口を塞ぐように傾動可能に設けられたカンチレバー部を有し、前記カンチレバー部はピエゾ抵抗層が形成されていることを特徴とする。
Inventors:
Isao Shimoyama
Kiyoshi Matsumoto
Taka Tomoyuki Hata
Tetsuro Kan
Kenta Kuwana
Hidetoshi Takahashi
Nguyen Min June
Kiyoshi Matsumoto
Taka Tomoyuki Hata
Tetsuro Kan
Kenta Kuwana
Hidetoshi Takahashi
Nguyen Min June
Application Number:
JP2012554710A
Publication Date:
June 30, 2014
Filing Date:
January 11, 2012
Export Citation:
Assignee:
National University Corporation Tokyo University
International Classes:
G01L13/06
Domestic Patent References:
| JPH04208827A | 1992-07-30 | |||
| JPH04294234A | 1992-10-19 |
Other References:
HIDETOSHI TAKAHASHI,KIYOSHI MATSUMOTO,AND ISAO SHIMOYAMA: "AIR PRESSURE SENSOR FOR AN INSECT WING", TECHNICAL DIGEST OF 22ND IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, JPN6012010103, 25 January 2009 (2009-01-25), US, pages 825 - 828, ISSN: 0002959191
高橋英俊, 松本潔, 下山勲: "MEMSセンサを用いた昆虫型羽ばたき翼における差圧計測", 日本機械学会2009年度年次大会講演論文集（６）, JPN6012010105, 12 September 2009 (2009-09-12), JP, pages 135 - 136, ISSN: 0002959192
高橋英俊, 松本潔, 下山勲: "MEMSセンサを用いた昆虫型羽ばたき翼における差圧計測", 日本機械学会2009年度年次大会講演論文集（６）, JPN6012010105, 12 September 2009 (2009-09-12), JP, pages 135 - 136, ISSN: 0002959192
Attorney, Agent or Firm:
Masayoshi Yoshida
Hiromitsu Imaeda
Umemura Hiroaki
Hiromitsu Imaeda
Umemura Hiroaki