Title:
流体の温度と種類の影響を校正した熱伝導型センサと、これを用いた熱型フローセンサおよび熱型気圧センサ
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2012111368
Kind Code:
A1
Abstract:
流速、流量や気圧の計測で、その計測値への被測定流体温度、流体の種類の影響が無いように補正（校正）できる熱伝導型センサを提供し、この補正機能を備えた高感度、小型、単純構造かつ安価な熱型フローセンサと熱型気圧センサを提供する。同一の空洞により基板から熱分離している少なくとも２個の薄膜を備え、一方の薄膜１０には、ヒータと温度センサとを具備し、他方の薄膜１２には、温度センサを備え、共に薄膜熱電対とする。薄膜１２は、薄膜１０のヒータ加熱により被測定流体を介してのみ熱せられるように近接配置する。流れが無い状態での所定の温度における標準流体と未知の被測定流体とで計測する薄膜１２とヒータ温度との温度差の情報、絶対温度情報などを基に、標準流体と未知の被測定流体との熱伝達率に係る量を校正回路手段で算出して比較し、真の流量や気圧などの物理的状態を表示できるように補正（校正）する。
Inventors:
Mitsuteru Kimura
Application Number:
JP2012507520A
Publication Date:
July 03, 2014
Filing Date:
January 13, 2012
Export Citation:
Assignee:
Tohoku Gakuin
International Classes:
G01F1/692; G01L21/14
Attorney, Agent or Firm:
Hisao Fukumori
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