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Title:
圧電デバイス、及び、その焼成前の成形体であるグリーン成形体の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2012132660
Kind Code:
A1
Abstract:
本体部に対応するグリーン本体部と、グリーン本体部の上面に形成された「上面電極に対応するグリーン上面電極」と、を少なくとも含む圧電デバイス対応部が、平板状の基材上に互いに間隔をあけて複数載置される。その後、複数の圧電デバイス対応部に対して平板状の弾性体を上方から押し付けることによって、各圧電デバイス対応部の上面の縁部において、外側に向かって下がる傾斜部が形成されるとともに、前記傾斜部と圧電デバイス対応部の側面とが交差する部分に円弧部が形成される。その後、各圧電デバイス対応部の側面に、グリーン上面電極と接続するように「側面電極に対応するグリーン側面電極」が形成される。その後、この成形体が焼成されて、圧電デバイスが得られる。これにより、上面電極(又は下面電極)と側面電極との間の導通不良が発生し難い圧電デバイスが提供され得る。

Inventors:
Takatomo Ogata
Akihiko Ito
Application Number:
JP2013507271A
Publication Date:
July 24, 2014
Filing Date:
February 22, 2012
Export Citation:
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Assignee:
Nippon Insulator Co., Ltd.
International Classes:
H01L41/047; H01L41/083; H01L41/09; H01L41/273; H01L41/293; H01L41/297
Attorney, Agent or Firm:
Patent business corporation Prospec patent office