Title:
蒸着処理システム及び蒸着処理方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2012133201
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明に係る蒸着粒子射出装置は、気体状の蒸着粒子を外部に射出する射出口（１１１）を有したノズル部（１１０）と、上記ノズル部（１１０）に内包され、蒸着粒子を付着させることで表面に蒸着材料を保持する複数の加熱板（１０１）を有する加熱板ユニット（１００）と、上記加熱板（１０１）表面に保持された蒸着材料を、当該蒸着材料が気体状になる温度以上の温度に加熱する加熱装置（１６０）とを備える。
Inventors:
Sonoda
Shinichi Kawato
Satoshi Inoue
Satoshi Hashimoto
Shinichi Kawato
Satoshi Inoue
Satoshi Hashimoto
Application Number:
JP2013507521A
Publication Date:
July 28, 2014
Filing Date:
March 23, 2012
Export Citation:
Assignee:
Sharp Corporation
International Classes:
C23C14/24; C23C14/12; H01L51/50; H05B33/10
Attorney, Agent or Firm:
Harakenzo world patent & trademark