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Title:
蒸着処理システム及び蒸着処理方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2012133201
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明に係る蒸着粒子射出装置は、気体状の蒸着粒子を外部に射出する射出口(111)を有したノズル部(110)と、上記ノズル部(110)に内包され、蒸着粒子を付着させることで表面に蒸着材料を保持する複数の加熱板(101)を有する加熱板ユニット(100)と、上記加熱板(101)表面に保持された蒸着材料を、当該蒸着材料が気体状になる温度以上の温度に加熱する加熱装置(160)とを備える。

Inventors:
園田 通
川戸 伸一
井上 智
橋本 智志
Application Number:
JP2013507521A
Publication Date:
July 28, 2014
Filing Date:
March 23, 2012
Export Citation:
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Assignee:
シャープ株式会社
International Classes:
C23C14/24; C23C14/12; H01L51/50; H05B33/10
Attorney, Agent or Firm:
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK