Title:
照明装置、露光装置、デバイス製造方法、導光光学素子及び導光光学素子の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2012137842
Kind Code:
A1
Abstract:
被照射面に照明光を照射する照明装置であって、第１面および第２面を有し、前記第１面から入射した前記照明光を導光して前記第２面から出射させる導光光学素子と、前記第２面と前記被照射面とを光学的に共役にし、前記第２面から出射した前記照明光を前記被照射面に集光させる集光光学系と、を備え、前記導光光学素子は、前記第１面および前記第２面をそれぞれ端面として柱状に形成され、前記第１面から入射した前記照明光の少なくとも一部を側面により全反射させて前記第２面から出射させる柱状光学部材と、前記第２面の周囲の前記側面のうち少なくとも一部に被覆された被覆部材と、を含み、前記被複部材は、前記側面のうち該被複部材に覆われた被覆側面部において前記照明光が全反射可能な屈折率を有する。
Inventors:
Kei Nara
Application Number:
JP2013508910A
Publication Date:
July 28, 2014
Filing Date:
April 04, 2012
Export Citation:
Assignee:
NIKON CORPORATION
International Classes:
H01L21/027; G02B19/00; G03F7/20
Attorney, Agent or Firm:
Hiroaki Sakai
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