Title:
隔膜型圧力計
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2013051198
Kind Code:
A1
Abstract:
隔膜型圧力計は、第１圧力範囲内の圧力を測定できる第１センサと、前記第１圧力範囲よりも高圧側に上限を有するとともに前記第１圧力範囲との重複範囲を有する第２圧力範囲内の圧力を測定できる第２センサと、前記第１センサ及び前記第２センサからの出力に対応した圧力値を算出する演算手段と、を備え、前記演算手段は、前記第１センサ及び前記第２センサにより前記重複範囲内で検出なされたとき、前記第１センサから出力された信号に対応する第１圧力値及び前記第２センサから出力された信号に対応する第２圧力値を算出し、前記第１圧力値と前記第２圧力値との差分に対応する前記第２センサの信号量を算出し、前記第２圧力範囲のうち前記第１圧力範囲の上限よりも高い圧力を測定する際、前記第２センサから出力される信号に前記信号量を加算した信号に対応する圧力値を出力する。
Inventors:
宮下 治三
Application Number:
JP2013537386A
Publication Date:
March 30, 2015
Filing Date:
September 12, 2012
Export Citation:
Assignee:
キヤノンアネルバ株式会社
International Classes:
G01L9/00; G01L21/00; H01L29/84
Domestic Patent References:
| JPS6049438U | 1985-04-06 | |||
| JP2001255225A | 2001-09-21 | |||
| JP2003021566A | 2003-01-24 | |||
| JP2009053164A | 2009-03-12 | |||
| JP2007512535A | 2007-05-17 |