Title:
金属フィルターの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2013054786
Kind Code:
A1
Abstract:
銅基板上に感光性樹脂組成物を積層して感光性樹脂組成物層を形成する積層工程と、感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射し、露光された部分を光硬化させて感光性樹脂組成物の硬化物を形成する露光工程と、感光性樹脂組成物層のうち感光性樹脂組成物の硬化物以外の部分を現像により除去し、銅基板上に感光性樹脂組成物の硬化物からなるレジストパターンを形成する現像工程と、レジストパターンが形成された銅基板を金属めっきしてめっき層を形成するめっき工程と、銅基板を化学的溶解によって除去して、めっき層及び感光性樹脂組成物の硬化物からなる構造物を得る溶解工程と、構造物から感光性樹脂組成物の硬化物を除去して、めっき層を得る剥離工程と、を含み、めっき層が金属フィルターである、金属フィルターの製造方法は、シワ・折れ・キズ・カール等のダメージ、及び、微細な貫通孔の変形のない金属フィルターを製造可能であるため有用である。
Inventors:
鈴木 崇裕
上原 寿茂
菊原 得仁
鈴木 恭介
上原 寿茂
菊原 得仁
鈴木 恭介
Application Number:
JP2013538541A
Publication Date:
March 30, 2015
Filing Date:
October 09, 2012
Export Citation:
Assignee:
日立化成株式会社
International Classes:
C25D1/08; B01D39/20; G01N1/04
Domestic Patent References:
| JP2006193825A | 2006-07-27 | |||
| JPH09217191A | 1997-08-19 | |||
| JP2005212476A | 2005-08-11 | |||
| JP2007070703A | 2007-03-22 | |||
| JPH0751521A | 1995-02-28 | |||
| JP2011163830A | 2011-08-25 |
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