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Title:
流体制御装置、流体制御装置の調整方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2013054801
Kind Code:
A1
Abstract:
可撓板の固有振動数を最適値に調整できる流体制御装置、及び当該流体制御装置の調整方法を提供する。押圧工程では、圧電ポンプ(101)をカバー板(195)を上にしてステージ(502)の上に戴置し、ステージ(502)を上昇させ、押圧ピン(503)でカバー板(195)の振動板(141)とは逆側の主面の中央部を押圧する。この結果、カバー板(195)及び基板(191)は、振動板(141)側を凸にして反った形状となり、可撓板(151との接合部分を引っ張って可撓板(151)を振動板(141)側を凸にして反らせる。これにより、可撓板(151)の可動部(154)には残留引張応力が生じる。よって、この残留引張応力によって可撓板(151)の可動部(154)の引張応力が高まり、可動部(154)の固有振動数を、許容範囲内の消費電力で所定値以上の所望のポンプ圧力が得られる最適値に調整することができる。

Application Number:
JP2013509360A
Publication Date:
March 30, 2015
Filing Date:
October 10, 2012
Export Citation:
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International Classes:
F04B43/04; F04B45/04; F04B45/047