Title:
非接触吸着盤
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2013129599
Kind Code:
A1
Abstract:
厚さが薄いワークを所定位置に保持吸着、または下向きに保持吸着することができる非接触吸着盤を提供する。本発明の非接触吸着盤（１）は、厚さ方向に貫通して延びる複数の通気孔（８）が吸着固定領域に形成された板状の多孔質パッド（２）と、多孔質パッドの裏面側に連結され多孔質パッドの裏面との間に第１密閉空間を形成する板状のホルダ（４）であって、連結時に複数の通気孔の裏面側開口端の位置で多孔質パッドの裏面に当接する平坦な頂部を備えた複数の島状の突出部（１６）を備え、島状の突出部の間の空間が第１密閉空間とされるホルダと、表面がホルダの裏面側に連結されホルダの裏面との間に第２密閉空間を形成するようにベース（６）とを備え、突出部に、連結時に、一端が、通気孔の裏面側開口端と整列し、通気孔と第２密閉空間とを連通させる連通孔（１８）が形成されていることを特徴とする。
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Inventors:
Kiyotaka Fujihira
Application Number:
JP2013542287A
Publication Date:
July 30, 2015
Filing Date:
February 28, 2013
Export Citation:
Assignee:
Tanken Seal Seiko Co., Ltd.
International Classes:
B65G49/07; B65G7/06; B65G49/06; H01L21/677
Domestic Patent References:
| JP2007027495A | 2007-02-01 | |||
| JP2011146705A | 2011-07-28 | |||
| JP2009104029A | 2009-05-14 | |||
| JPH0750336A | 1995-02-21 |
Attorney, Agent or Firm:
Koichi Tsujii
Sadao Kumakura
Disciple Maru Ken
Ino Sato
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa
Sadao Kumakura
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Ino Sato
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa