Title:
照明装置、処理装置、及びデバイス製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2013179977
Kind Code:
A1
Abstract:
照明装置（ＩＵ）は、第１の光源部（２１ａ）と、第１の光源部と光の出射方向が異なる第２の光源部（２１ｂ）と、第１の光源部からの光と第２の光源部からの光の進行方向を揃えるように、光の少なくとも一部を偏向する偏向部（２２）と、を備える。第１の光源部と第２の光源部は、各光源部から出射して偏向部を経由した光が入射する照明領域が所定方向に連続して並ぶように、所定方向において異なる位置に配置されている。
Inventors:
Takeshi Negishi
Tatsuo Fukui
Tatsuo Fukui
Application Number:
JP2014518406A
Publication Date:
January 21, 2016
Filing Date:
May 22, 2013
Export Citation:
Assignee:
NIKON CORPORATION
International Classes:
G03F7/20; G02B19/00; G02F1/13; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
Masatake Shiga
Tadashi Takahashi
Tadashi Takahashi