Title:
酸化珪素の製造装置及び製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2014157160
Kind Code:
A1
Abstract:
二酸化珪素粉末を含む混合原料粉末を反応させて酸化珪素ガスを生成させる反応室と、この反応室内に上記混合原料粉末を供給する原料供給機構と、上記酸化珪素ガスから酸化珪素固体を析出させるベルト状基体と、上記基体に酸化珪素固体を析出させる析出室と、上記酸化珪素ガスを上記反応室から上記析出室に搬送する搬送管と、析出室に連結された回収室と、上記ベルト状基体は析出室と回収室間で回転可能に配置され、析出室と回収室間で上記ベルト状基体を回転させる回転機構と、回収室にゲート弁を介して連結されたロードロック室とを具備する酸化珪素の製造装置に関するものであり、本発明によれば、効率的かつ長期間安定的に、高純度の酸化珪素を連続的に製造することができる。
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Inventors:
Atsushi Kawada
Application Number:
JP2015508524A
Publication Date:
February 16, 2017
Filing Date:
March 25, 2014
Export Citation:
Assignee:
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
International Classes:
C01B33/113; H01M4/48
Domestic Patent References:
| JPS6227318A | 1987-02-05 | |||
| JPH0925112A | 1997-01-28 | |||
| JP2001220123A | 2001-08-14 | |||
| JP2005517620A | 2005-06-16 |
Foreign References:
| DE19844357A1 | 2000-03-30 |
Attorney, Agent or Firm:
Takashi Kojima
Saori Shigematsu
Katsunari Kobayashi
Takeshi Ishikawa
Katsuhiko Masaki
Saori Shigematsu
Katsunari Kobayashi
Takeshi Ishikawa
Katsuhiko Masaki