Title:
半導体装置とその製造方法、および、熱式空気流量センサとその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2014199726
Kind Code:
A1
Abstract:
計測精度を向上した熱式空気流量計、およびその製造方法、および、それに用いるシート接着剤を提供するために、被着体1つに対して少なくとも2つ以上に分割されており、厚みは概ね0.1mm以下であるシート接着剤であって、被着体の形状に対応してシート接着剤が分割されており、外部からのエネルギーにより接着性または粘着性を発生または増加させることを特徴とするシート接着剤。
Inventors:
Satoshi Ikeo
Toshifumi Sagawa
Ryosuke Doi
Hiroshi Kikuchi
Hideki Kuno
Toshifumi Sagawa
Ryosuke Doi
Hiroshi Kikuchi
Hideki Kuno
Application Number:
JP2015522625A
Publication Date:
February 23, 2017
Filing Date:
April 18, 2014
Export Citation:
Assignee:
Hitachi Automotive Systems, Ltd.
International Classes:
C09J7/20; C09J11/04; C09J201/00; G01F1/684; H01L21/52
Domestic Patent References:
JP2007281415A | 2007-10-25 | |||
JP2001085360A | 2001-03-30 | |||
JP2004266163A | 2004-09-24 | |||
JP2013103959A | 2013-05-30 | |||
JP2011077436A | 2011-04-14 | |||
JPH0677316A | 1994-03-18 | |||
JP2009036639A | 2009-02-19 | |||
JP2009036641A | 2009-02-19 |
Attorney, Agent or Firm:
Polaire Patent Business Corporation