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Title:
ガスレーザ装置及びその制御方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2015140930
Kind Code:
A1
Abstract:
このガスレーザ装置は、レーザガスを封入するチャンバと、チャンバの内部に配置された一対の電極と、チャンバの内部に配置されたファンと、ファンの回転軸に接続されるモータと、一対の電極の消耗パラメータに基づいて、ファンの回転数を制御する回転数制御部と、を備えてもよい。

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Inventors:
Takeshi Asayama
Hiroro Sakuma
Koji Kakizaki
Wakabayashi Osamu
Application Number:
JP2016508374A
Publication Date:
April 06, 2017
Filing Date:
March 18, 2014
Export Citation:
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Assignee:
Gigaphoton Co., Ltd.
International Classes:
H01S3/00; H01S3/036
Domestic Patent References:
JP2008235646A2008-10-02
JP2010525571A2010-07-22
JPH0352281A1991-03-06
JPH0629592A1994-02-04
JP2002029430A2002-01-29
JP2006114689A2006-04-27
JP2008198919A2008-08-28
Foreign References:
WO2007066700A12007-06-14
WO2014017562A12014-01-30
Attorney, Agent or Firm:
Hosaka Enju



 
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