Title:
多結晶窒化ガリウム自立基板及びそれを用いた発光素子
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2015151902
Kind Code:
A1
Abstract:
略法線方向で特定結晶方位に配向した複数の窒化ガリウム系単結晶粒子で構成される多結晶窒化ガリウム自立基板が提供される。この自立基板は、基板表面の電子線後方散乱回折法（ＥＢＳＤ）の逆極点図マッピングによって測定した各窒化ガリウム系単結晶粒子の結晶方位が特定結晶方位から様々な角度で傾斜して分布し、その平均傾斜角が１〜１０°である。また、本発明の発光素子は、上記自立基板と、基板上に形成され、略法線方向に単結晶構造を有する複数の半導体単結晶粒子で構成される層を一以上有する発光機能層とを備える。本発明によれば、基板表面の欠陥密度を低減可能な多結晶窒化ガリウム自立基板を提供することができる。また、本発明の多結晶窒化ガリウム自立基板を用いて高い発光効率が得られる発光素子を提供することもできる。
Inventors:
Watanabe Morido
Jun Yoshikawa
Yoshitaka Kuraoka
Tsutomu Nanataki
Jun Yoshikawa
Yoshitaka Kuraoka
Tsutomu Nanataki
Application Number:
JP2016511554A
Publication Date:
April 13, 2017
Filing Date:
March 23, 2015
Export Citation:
Assignee:
Nippon Insulator Co., Ltd.
International Classes:
C30B29/38; C30B19/12; H01L21/205; H01L33/32
Domestic Patent References:
| JPH0927636A | 1997-01-28 | |||
| JP2004244307A | 2004-09-02 |
Foreign References:
| WO2009044638A1 | 2009-04-09 |
Attorney, Agent or Firm:
Masaharu Takamura
Hiroki Kashima
Taku Takeishi
Hiroki Kashima
Taku Takeishi