Title:
角速度センサ素子
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2016035277
Kind Code:
A1
Abstract:
本開示の角速度センサ素子は、固定部と、固定部と接続され、第１の検出電極が設けられ、第１の方向に延出する第１の検出体と、第１の検出体に一端が接続され、第１の方向と略垂直な方向である第２の方向に延出し、かつ、第２の検出電極が設けられた第２の検出体と、第２の検出体の他端に接続され、第１の検出体および第２の検出体と同一平面上に設けられ、かつ、駆動電極が設けられた駆動体と、を有する。そして、駆動体は、２つ以上の屈曲部を有する折り返し形状であり、第２の検出体と駆動体との接続部から、駆動体の端部までの方向が、上面視で、第１の方向と第２の方向の間の方向である。
Inventors:
Kobayashi Yasushi Exhibition
Application Number:
JP2016546293A
Publication Date:
June 15, 2017
Filing Date:
August 25, 2015
Export Citation:
Assignee:
Panasonic IP Management Co., Ltd.
International Classes:
G01C19/5607; H01L41/08; H01L41/09; H01L41/113
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Kamada
Hiroo Maeda
Hiroo Maeda