Title:
圧電振動部品及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2016113947
Kind Code:
A1
Abstract:
圧電振動部品（４０）は、圧電振動子（２０）を実装する主面（１１）を有する基板（１０）と、主面（１１）に対向するように開口された凹部（３１）及び凹部（３１）の開口縁から外側に向かって突出するフランジ部（３２）を有するリッド（３０）と、圧電振動子（２０）を凹部（３１）と主面（１１）との間の空間に密閉封止するように基板（１０）とリッド（３０）とを接合する接着層（５０）とを備える。フランジ部（３２）の側面（３３）の表面粗さは、凹部（３１）の表面粗さより粗く、接着層（５０）は、基板（１０）の主面（１１）からフランジ部（３２）の側面（３３）にかけて形成されている。
Inventors:
Kazuyuki Noto
Application Number:
JP2016569219A
Publication Date:
October 19, 2017
Filing Date:
September 17, 2015
Export Citation:
Assignee:
MURATA MANUFACTURING CO.,LTD.
International Classes:
H03H9/02
Domestic Patent References:
| JP2012074937A | 2012-04-12 | |||
| JP2014197615A | 2014-10-16 | |||
| JP2013197520A | 2013-09-30 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
Mutsumi Sato
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
Mutsumi Sato