Title:
感放射線性組成物
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2016158170
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、(A)レジスト基材、(B)ジアゾナフトキノン光活性化合物及び(C)溶媒を含有する感放射線性組成物であって、該組成物において、固形成分の含有量が1〜80質量%の範囲であり、溶媒の含有量が20〜99質量%の範囲であり、該(A)レジスト基材が特定の式で表わされる化合物である。
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Inventors:
Echigo Masatoshi
Takumi Hida
Takashi Sato
Takumi Hida
Takashi Sato
Application Number:
JP2017509427A
Publication Date:
January 25, 2018
Filing Date:
March 02, 2016
Export Citation:
Assignee:
Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.
International Classes:
G03F7/004; G02F1/1333; G03F7/022; G03F7/20
Domestic Patent References:
JPH04296754A | 1992-10-21 | |||
JPH1097066A | 1998-04-14 | |||
JPH0829975A | 1996-02-02 | |||
JP2014199312A | 2014-10-23 | |||
JP2007206562A | 2007-08-16 | |||
JP2006098869A | 2006-04-13 |
Foreign References:
WO2005101127A1 | 2005-10-27 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Kazuhiko Naito
Toshifumi Onuki
Kazuhiko Naito
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