Title:
光学特性測定装置及び光学特性測定装置の設定方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2016203902
Kind Code:
A1
Abstract:
光学特性測定装置は、分光センサを用いた測定について、第１の露光時間及び第１の積算回数が入力される入力部と、入力された第１の露光時間と第１の積算回数とを用いて、分光センサを用いた測定の測定時間（第１の測定時間）を算出する算出部と、第１の測定時間と二次元イメージセンサを用いた測定の測定時間（第２の測定時間）との差を小さくし、又は、差をなくすように、二次元イメージセンサを用いた測定での第２の露光時間及び第２の積算回数の少なくとも一方を決定する決定部と、を備える。
Inventors:
Minoru Maeda
Application Number:
JP2017524749A
Publication Date:
April 05, 2018
Filing Date:
May 23, 2016
Export Citation:
Assignee:
Konica Minolta Co., Ltd.
International Classes:
G01J1/44; G01J1/38; G01J3/51; G01M11/00
Domestic Patent References:
| JP2010271246A | 2010-12-02 | |||
| JPH06323910A | 1994-11-25 | |||
| JP2003075257A | 2003-03-12 | |||
| JPS6343486A | 1988-02-24 | |||
| JP3246021B2 | 2002-01-15 | |||
| JP2008216203A | 2008-09-18 | |||
| JP2008039783A | 2008-02-21 | |||
| JP2015099074A | 2015-05-28 | |||
| JP2008281536A | 2008-11-20 | |||
| JPH0344524A | 1991-02-26 |
Attorney, Agent or Firm:
Etsushi Kotani
Masataka Otani
Satoshi Sakurai
Masataka Otani
Satoshi Sakurai