Title:
エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置、回転情報取得方法及び回転情報取得プログラム
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017014189
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】【解決手段】エンコーダ装置は、駆動装置の回転軸に設けられ、所定のパターンを有するスケールと、所定のパターンを検出する検出部と、検出部の検出結果を用いて、回転軸の回転情報を算出する回転情報算出部と、偏心情報算出部と、回転情報を補正する補正部と、を備える。【選択図】図１
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Inventors:
Takahashi Taiyo
Akihiro Watanabe
Akihiro Watanabe
Application Number:
JP2017529880A
Publication Date:
March 29, 2018
Filing Date:
July 15, 2016
Export Citation:
Assignee:
NIKON CORPORATION
International Classes:
G01D5/244
Domestic Patent References:
| JP2015105829A | 2015-06-08 | |||
| JP2002250640A | 2002-09-06 | |||
| JPH07134045A | 1995-05-23 | |||
| JP2012002592A | 2012-01-05 |
Foreign References:
| WO2011074103A1 | 2011-06-23 | |||
| WO2015008622A1 | 2015-01-22 |
Attorney, Agent or Firm:
Kazuya Nishi
Takeshi Kawamura
Takeshi Kawamura