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Title:
化合物、樹脂、リソグラフィー用下層膜形成材料、リソグラフィー用下層膜形成用組成物、リソグラフィー用下層膜及びレジストパターン形成方法、回路パターン形成方法、及び、精製方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017014191
Kind Code:
A1
Abstract:
下記式(1)で表される化合物又は樹脂。【化1】(式(1)中、Xは、各々独立して、酸素原子、硫黄原子又は無架橋であることを示し、R1は、各々独立して、ハロゲン基、シアノ基、ニトロ基、アミノ基、水酸基、チオール基、複素環基、炭素原子数1〜30のアルキル基、炭素原子数2〜30のアルケニル基、炭素原子数6〜40のアリール基、及びそれらの組み合わせからなる群より選択され、ここで、該アルキル基、該アルケニル基及び該アリール基は、エーテル結合、ケトン結合又はエステル結合を含んでいてもよく、R2は、各々独立して、炭素数1〜30のアルキル基、炭素数6〜40のアリール基、炭素数2〜30のアルケニル基、チオール基又は水酸基であり、ここで、R2の少なくとも1つは水酸基又はチオール基を含む基であり、mは、各々独立して、0〜7の整数であり(ここで、mの少なくとも1つは1〜7の整数である。)、pは各々独立して0又は1であり、qは0〜2の整数であり、nは1又は2である。)

Inventors:
Kana Okada
Junya Horiuchi
Takashi Makinoshima
Echigo Masatoshi
Application Number:
JP2017529881A
Publication Date:
May 24, 2018
Filing Date:
July 15, 2016
Export Citation:
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Assignee:
Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.
International Classes:
C07D233/64; C07D405/04; C08G12/28; G03F7/11; G03F7/26; H01L21/027
Domestic Patent References:
JP2003315954A2003-11-06
JPS5967273A1984-04-16
JP2015018223A2015-01-29
Foreign References:
WO2015080240A12015-06-04
WO2013024779A12013-02-21
WO2014123102A12014-08-14
WO2014123107A12014-08-14
Other References:
NATH, B. ET AL.: "Polymorphism and porosity in 4-[(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)(5-methyl-1H-imidazol-4-yl)methyl]-2,6", CRYSTENGCOMM, vol. 15(31), JPN6016036126, 2013, pages 6249 - 6258, XP055513585, ISSN: 0004388951, DOI: 10.1039/c3ce40407b
NATH, B. ET AL.: "An Imidazole-Based Bisphenol 2-((2-Hydroxy-3,5-dimethylphenyl)(imidazol-4-yl)methyl)-4,6-dimethylphe", CRYSTAL GROWTH & DESIGN, vol. 12(3), JPN6016036127, 2012, pages 1671 - 1682, ISSN: 0004388952
MOTOMURA, T. ET AL.: "Transition-state stabilization via dynamic molecular recognition: a concerted acid-base bifunctional", TETRAHEDRON LETTERS, vol. 32(36), JPN6016036128, 1991, pages 4757 - 4760, ISSN: 0004388953
MAJI, B. ET AL.: "N-Heterocyclic Carbenes: Organocatalysts with Moderate Nucleophilicity but Extraordinarily High Lewi", ANGEWANDTE CHEMIE, INTERNATIONAL EDITION, vol. 50(30), JPN6016036129, 2011, pages 6915 - 6919, ISSN: 0004388954
BREUGST, M. ET AL.: "Nucleophilic Reactivities of the Anions of Nucleobases and Their Subunits", CHEMISTRY - A EUROPEAN JOURNAL, vol. 18(1), JPN6016036130, 2012, pages 127 - 137, ISSN: 0004388955
第4版実験化学講座1 基本操作I, JPN6020016311, 1991, pages 180 - 181, ISSN: 0004388956
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Kazuhiko Naito