Title:
圧電振動子およびセンサ
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017078135
Kind Code:
A1
Abstract:
水晶より電気機械結合係数が大きく、より良好な周波数温度特性を有する圧電結晶による振動子を提供するために、振動片（１０１）をＣａ3Ｔａ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）から構成する。単結晶は、Ｘ軸を回転軸としてＸＺ平面からの回転角をθとしたとき、１８ｘ＋１７．５≦θ≦２４ｘ＋２４．５とされている。また、振動片（１０１）をＣａ3Ｎｂ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）から構成する。この構成における単結晶は、Ｘ軸を回転軸としてＸＺ平面からの回転角をθとしたとき、１８ｘ＋１７．５≦θ≦２４ｘ＋２４．５とされている。
Inventors:
Akira Yoshikawa
Yuji Ohashi
Yokota
Kei Kamata
Masatoshi Ito
Kenji Inoue
Hiroyuki Amano
Yuji Ohashi
Yokota
Kei Kamata
Masatoshi Ito
Kenji Inoue
Hiroyuki Amano
Application Number:
JP2017549121A
Publication Date:
July 26, 2018
Filing Date:
November 04, 2016
Export Citation:
Assignee:
Piezo studio inc.
Tohoku University
Tohoku University
International Classes:
H03H9/17
Domestic Patent References:
| JP2002118442A | 2002-04-19 | |||
| JP2002271171A | 2002-09-20 |
Foreign References:
| WO2012049846A1 | 2012-04-19 |
Attorney, Agent or Firm:
Shigeki Yamakawa
Masaki Yamakawa
Masaki Yamakawa