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Title:
撮像素子、計測装置および計測方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017086442
Kind Code:
A1
Abstract:
撮像素子は、対象物の所定の深さからの光を撮像し、対象物からの光と参照光との干渉光を含む光を光電変換する光電変換部と、光電変換部から出力された信号から、所定の深さに対応する干渉光成分における干渉周波数の信号成分をロックインして検出する弁別部と、を備える。

Inventors:
Naoki Okochi
Application Number:
JP2017551948A
Publication Date:
October 04, 2018
Filing Date:
November 18, 2016
Export Citation:
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Assignee:
NIKON CORPORATION
International Classes:
G01N21/17; H01L27/146
Domestic Patent References:
JP2014115161A2014-06-26
JPH10241611A1998-09-11
JP2011196771A2011-10-06
JP2012202774A2012-10-22
JP2010040594A2010-02-18
JP2008151697A2008-07-03
Foreign References:
WO2013164915A12013-11-07
WO2015001918A12015-01-08
US6020963A2000-02-01
US20140055749A12014-02-27
Attorney, Agent or Firm:
Fuyuki Nagai
Naomasa Shiraishi



 
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