Title:
シリカガラスルツボ、シリカガラスルツボの製造方法、シリコン単結晶の引き上げ装置、インゴットおよびホモエピタキシャルウェーハ
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017110763
Kind Code:
A1
Abstract:
内部残留応力が正確に測定されたシリカガラスルツボを提供すること。本発明は、円筒状の側壁部と、湾曲した底部と、側壁部と底部との間に設けられ底部の曲率よりも高い曲率を有するコーナ部と、を備え、歪測定装置で測定されたシリカガラスルツボであって、歪測定装置は、側壁部の側方に配置され、偏光光を側壁部に向けて照射する発光部と、側壁部の上端面の偏光光に応じた映像を取り込む撮像部と、撮像部で取り込んだ映像に基づきシリカガラスルツボの歪の分布を出力する出力部と、を備える。
Inventors:
Tadahiro Sato
Ken Kitahara
Kitahara Eriko
Toshiaki Sudo
Ken Kitahara
Kitahara Eriko
Toshiaki Sudo
Application Number:
JP2017558132A
Publication Date:
June 28, 2018
Filing Date:
December 20, 2016
Export Citation:
Assignee:
Sumco inc.
International Classes:
C03B20/00; C30B15/10; C30B29/06; G01B11/16
Domestic Patent References:
| JP2004525057A | 2004-08-19 | |||
| JP2012116710A | 2012-06-21 | |||
| JPH0363581U | 1991-06-20 | |||
| JP2013112597A | 2013-06-10 |
Foreign References:
| WO2015099001A1 | 2015-07-02 | |||
| WO2013094318A1 | 2013-06-27 | |||
| WO2011019012A1 | 2011-02-17 |
Attorney, Agent or Firm:
Ichiro Nomura