Title:
感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法及び感放射線性酸発生剤
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017179727
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、酸解離性基を含む第１構造単位を有する重合体と、第１感放射線性酸発生剤と、溶媒とを含有し、上記第１感放射線性酸発生剤が、橋状結合を含む第１環と、この第１環と少なくとも１辺を共有して縮環する少なくとも２つの第２環とを有する第１化合物である感放射線性樹脂組成物である。また、本発明は、酸解離性基を含む第１構造単位を有する重合体と、第１感放射線性酸発生剤と、溶媒とを含有し、上記第１感放射線性酸発生剤が、炭素−炭素二重結合又は炭素−炭素三重結合と−ＣＯ−又は−ＳＯ２−とを有する化合物の下記式（Ａ）で表される化合物への１，４−付加体に由来する化合物である感放射線性樹脂組成物である。
Inventors:
Shiratani Sodai
Application Number:
JP2018512109A
Publication Date:
February 21, 2019
Filing Date:
April 14, 2017
Export Citation:
Assignee:
JSR CORPORATION
International Classes:
G03F7/004; G03F7/038; G03F7/039; G03F7/20
Domestic Patent References:
| JP2010155824A | 2010-07-15 | |||
| JP2012229200A | 2012-11-22 |
Foreign References:
| WO2015174215A1 | 2015-11-19 |
Attorney, Agent or Firm:
Hajime Amano
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