Title:
研磨パッド
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018052133
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、ポリウレタン樹脂と酸化セリウム粒子とを含む高分子体によって形成されたパッド本体を有し、前記パッド本体が、研磨面を構成する部分となっており、前記酸化セリウム粒子は、１次粒子及び１次粒子が複数凝集した２次粒子となって前記高分子体に含まれる、研磨パッド等である。
Inventors:
Red time Masatoshi
Kazunori Ito
Yoshio Kita
Naoko Kawai
Kazunori Ito
Yoshio Kita
Naoko Kawai
Application Number:
JP2018539197A
Publication Date:
July 04, 2019
Filing Date:
September 15, 2017
Export Citation:
Assignee:
Nitta Haas Co., Ltd.
International Classes:
B24B37/24; B24D3/00; B24D11/00
Domestic Patent References:
| JP2007250166A | 2007-09-27 | |||
| JPS6128573A | 1986-02-08 | |||
| JP2005007520A | 2005-01-13 | |||
| JP2000273443A | 2000-10-03 | |||
| JP2015140402A | 2015-08-03 | |||
| JP2002346912A | 2002-12-04 | |||
| JP2012502501A | 2012-01-26 | |||
| JPH10249737A | 1998-09-22 | |||
| JP2000114211A | 2000-04-21 | |||
| JP2003062754A | 2003-03-05 | |||
| JPH03270883A | 1991-12-03 | |||
| JP2004358584A | 2004-12-24 |
Foreign References:
| WO2000073211A1 | 2000-12-07 |
Attorney, Agent or Firm:
Fujimoto Partners Corporation