Title:
極端紫外光生成システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018131123
Kind Code:
A1
Abstract:
極端紫外光生成システムは、所定領域に向けてターゲットを出力するターゲット供給部と、外部装置から入力されるバースト信号が第１の状態である期間に、ドライブレーザ光を出力するドライブレーザと、ガイドレーザ光を出力するガイドレーザと、ドライブレーザから出力されるドライブレーザ光の光路軸と、ガイドレーザから出力されるガイドレーザ光の光路軸と、をほぼ一致させて出力するビームコンバイナと、ビームコンバイナから出力されるドライブレーザ光及びガイドレーザ光を所定領域に集光するレーザ光集光光学系と、レーザ光集光光学系によるドライブレーザ光及びガイドレーザ光の集光位置を変更するアクチュエータと、ガイドレーザ光のターゲットによる反射光を検出する光センサと、バースト信号が第１の状態と異なる第２の状態である期間に、光センサで検出される反射光の光量が大きくなるようにアクチュエータを制御する制御部と、を備える。
Inventors:
Takayuki Yabu
Wakabayashi Osamu
Wakabayashi Osamu
Application Number:
JP2018561161A
Publication Date:
November 07, 2019
Filing Date:
January 12, 2017
Export Citation:
Assignee:
Gigaphoton Co., Ltd.
International Classes:
G03F7/20; H05G2/00
Domestic Patent References:
| JP2012178534A | 2012-09-13 | |||
| JP2013105725A | 2013-05-30 | |||
| JP2012199512A | 2012-10-18 | |||
| JP2013513929A | 2013-04-22 | |||
| JP2014531743A | 2014-11-27 |
Attorney, Agent or Firm:
Hosaka Enju