Title:
樹脂膜の形成方法および樹脂膜の成膜装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018155421
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明の樹脂膜の形成方法は、マスク本体が金属材料からなり所定の開口部を備えたマスクを用い、減圧雰囲気において、基板上に樹脂膜を形成する方法であって、減圧雰囲気において、冷却された支持台に載置された前記基板と接するように前記マスクを設けて、該マスクを介して気化した樹脂材料を供給し該基板上で凝縮させ、該基板上に液体の樹脂材料膜を形成する第１工程と、前記基板から前記マスクを剥離する第２工程と、前記マスク上の樹脂材料膜を熱処理し、該樹脂材料膜を蒸発する第３工程と、前記基板上に残存した樹脂材料膜にＵＶ光を照射し、該樹脂材料膜を硬化して樹脂膜を形成する第４工程と、を順に備える。
Inventors:
Aodai Shin
Kensuke Kiyo
Akihisa Takahashi
Kensuke Kiyo
Akihisa Takahashi
Application Number:
JP2019501331A
Publication Date:
November 07, 2019
Filing Date:
February 20, 2018
Export Citation:
Assignee:
ULVAC, Inc.
International Classes:
C23C14/04; C23C14/12; H01L51/50; H05B33/04; H05B33/10
Domestic Patent References:
| JP4112702B2 | 2008-07-02 | |||
| JP2013129866A | 2013-07-04 | |||
| JP2016130347A | 2016-07-21 |
Foreign References:
| WO2003085157A1 | 2003-10-16 |
Attorney, Agent or Firm:
Shu Oikawa
Tomoo Katsumata
Ryo Tsuchiya
Tomoo Katsumata
Ryo Tsuchiya