Title:
基板収納容器
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018185894
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明の基板収納容器は、蓋体側基板支持部７を有し、蓋体側基板支持部７は、蓋体側基板受け部７３と蓋体側脚部７２と、を備える。蓋体側基板受け部７３は、下側傾斜面７３１と、上側傾斜面７３２と、下側傾斜面７３１の下端部に接続され、下側傾斜面７３１の傾斜よりも、複数の基板が並列された並列方向に一致する上下方向Ｄ２とのなす角が小さく傾斜する下側基板誘い込み傾斜面７３３と、上側傾斜面７３２の上端部に接続され、上側傾斜面７３２の傾斜よりも上下方向Ｄ２とのなす角が小さく傾斜する上側基板誘い込み傾斜面７３４と、を有する。蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときの溝７０３が延びる方向において、容器本体開口部の中央に近づくにつれて下側基板誘い込み傾斜面７３３の上下方向Ｄ２の長さは長くなる。
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Inventors:
Kyohei Sato
Application Number:
JP2019511008A
Publication Date:
February 20, 2020
Filing Date:
April 05, 2017
Export Citation:
Assignee:
Miraial Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/673
Domestic Patent References:
| JP2016149492A | 2016-08-18 | |||
| JP2009124063A | 2009-06-04 |
Foreign References:
| WO2009131016A1 | 2009-10-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Masayuki Masabayashi
Hayashi Ichiyoshi
Iwaike Mitsuru
Hayashi Ichiyoshi
Iwaike Mitsuru