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Title:
バルブおよび流体制御装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018221287
Kind Code:
A1
Abstract:
第1貫通孔(100)を有する第1板(10)と、第1貫通孔(100)と対向しない、第2貫通孔(210)を有する第2板(20)と、第1板(10)と第2板(20)とに囲まれてなるバルブ室(55)と、バルブ室(55)に配置され、第1貫通孔(100)に対向せず、第2貫通孔(200)に対向する第3貫通孔(300)を有する、第1板(10)と第2板(20)との間を上下動する弁体(30)と、を備える。また、第2貫通孔(210)の第2開口面積は、第3貫通孔(300)の第3開口面積より小さく、第2貫通孔(210)は、正面視して第3貫通孔(300)内に配置されることを特徴とする。

Inventors:
田中 伸拓
横井 宏之
Application Number:
JP2018560242A
Publication Date:
June 27, 2019
Filing Date:
May 21, 2018
Export Citation:
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Assignee:
株式会社村田製作所
International Classes:
F16K15/14; F04B45/04; F04B45/047
Attorney, Agent or Firm:
特許業務法人 楓国際特許事務所