Title:
銅エッチング液
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2019013160
Kind Code:
A1
Abstract:
本件発明の課題は、ガルバニック腐食を確実に抑制することができ、浴管理が容易でエッチング速度に優れた銅エッチング液を提供することを目的とする。上記課題を解決するために、アルカリ性の水溶液からなる銅エッチング液であって、１〜７０ｇ／Ｌの銅と、２５％アンモニア水換算で１０〜５００ｇ／Ｌのアンモニア水と、５〜５００ｇ／Ｌのアンモニウム塩とを含み、前記アンモニウム塩は、無機酸のアンモニウム塩、スルホン酸のアンモニウム塩、飽和脂肪酸のアンモニウム塩、芳香族カルボン酸のアンモニウム塩、ヒドロキシ酸のアンモニウム塩、ジカルボン酸のアンモニウム塩の群から選択される１種又は２種以上のアンモニウム塩であることを特徴とする銅エッチング液を提供する。
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Inventors:
Kiyo Makoto
Wataruguchi Shigeru
Hiroyuki Kumagai
Toshiaki Matsubara
Nakamura Yoshiyuki
Wataruguchi Shigeru
Hiroyuki Kumagai
Toshiaki Matsubara
Nakamura Yoshiyuki
Application Number:
JP2019529709A
Publication Date:
May 21, 2020
Filing Date:
July 09, 2018
Export Citation:
Assignee:
Meltex Inc.
International Classes:
C23F1/34; H05K3/18
Attorney, Agent or Firm:
Katsuhiro Yoshimura