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Title:
対基板作業システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2019016933
Kind Code:
A1
Abstract:
1又は複数のベースと、ベースの上面に配列されると共に、ベースに対し配列方向に直交する方向へ引き出し可能に設けられ、且つ、配列方向に基板を搬入出するための開口部をそれぞれ備えた複数の対基板作業モジュールと、隣接する二台の対基板作業モジュールの間に、隣接する二台の対基板作業モジュールの各々に対してスライド可能に設けられ、且つ、スライドすることにより前記開口部を開閉可能なスライドカバーと、を備える対基板作業システム。

Inventors:
藤田 陽司
Application Number:
JP2019530321A
Publication Date:
March 19, 2020
Filing Date:
July 21, 2017
Export Citation:
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Assignee:
株式会社FUJI
International Classes:
H05K13/04
Attorney, Agent or Firm:
特許業務法人 共立