Title:
光配向用露光装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2019031453
Kind Code:
A1
Abstract:
プレチルト角を発現させるために斜め露光を行う光配向用露光装置において、安価な散乱光源（体積光源）を用いることができると共に、コンパクトな形態で均一な照度分布を得る。被照射面に対して一方向に走査露光を行うことで光配向処理を行う光配向用露光装置（１）は、被照射面（１０Ｓ）に向けて散乱光を出射する光源（２）と、光源（２）から出射された光のうち、紫外線を選択的に出射する光学フィルタ（３）と、光学フィルタ（３）から出射された光のうち、走査方向に対して斜めに照射される光を選択的に出射する照射角度制限部材（４）とを備え、照射角度制限部材（４）は、平板状の光方向制限板（４０）を、被照射面（１０Ｓ）に対して一定の角度で傾斜させ、走査方向に沿って設定間隔で複数平行配列させている。
Inventors:
Yuji Yoshida
Satoshi Ikeda
Arai Toshinari
Miyake dare
Takashi Katayama
Akira Hirai
Satoshi Ikeda
Arai Toshinari
Miyake dare
Takashi Katayama
Akira Hirai
Application Number:
JP2019535649A
Publication Date:
September 17, 2020
Filing Date:
August 06, 2018
Export Citation:
Assignee:
Buoy Technology Co., Ltd.
Sharp Corporation
Sharp Corporation
International Classes:
G03F7/20; G02F1/1337
Attorney, Agent or Firm:
Eichi International Patent Office