Title:
電荷検出センサおよび電位計測システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2019077814
Kind Code:
A1
Abstract:
複数の電極をアレイ状に配置し、その電極上の溶液において発生する電荷を検出する電荷検出センサにおいて、センシング感度を向上させる。電荷検出センサは、アレイ状に配列されて電荷を検出する複数の検出電極を備える。複数の検出電極は、絶縁部によって互いに絶縁される。複数の検出電極の表面には、導電性の粒子群が成膜される。これにより、検出電極の表面において立体電極が形成され、検出電極の表面積が拡大し、低抵抗化が図られる。
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Inventors:
Shimizu
Application Number:
JP2019549115A
Publication Date:
November 26, 2020
Filing Date:
July 06, 2018
Export Citation:
Assignee:
Sony Semiconductor Solutions Corporation
International Classes:
G01R29/24; G01N27/30; G01N27/416
Domestic Patent References:
| JP2007513357A | 2007-05-24 | |||
| JP2005077210A | 2005-03-24 | |||
| JP2012047536A | 2012-03-08 | |||
| JPH0862209A | 1996-03-08 |
Foreign References:
| WO2014025044A1 | 2014-02-13 | |||
| WO2017057291A1 | 2017-04-06 | |||
| KR20140012580A | 2014-02-03 | |||
| US20160341686A1 | 2016-11-24 | |||
| US20100285514A1 | 2010-11-11 |
Attorney, Agent or Firm:
Toshikazu Marushima