Title:
検査装置及び検査方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2019130952
Kind Code:
A1
Abstract:
検査装置１において、第一測距センサ１１で計測した基板１００の上面１０１までの距離である第一基板距離Ｄｂ１と、第一測距センサ１１で計測した第二治具３２の検査面３２Ｐまでの距離である第二治具距離Ｄｊ２と、に基づいて、第二治具３２と上面１０１との距離である第二距離Ｄ２を算出し、第二測距センサ１２で計測した下面１０２までの距離である第二基板距離Ｄｂ２と、第二測距センサ１２で計測した第一治具３１の検査面３１Ｐまでの距離である第一治具距離Ｄｊ１と、に基づいて、第一治具３１と下面１０２との距離である第一距離Ｄ１を算出し、第一距離Ｄ１及び第二距離Ｄ２に基づいて、第一治具３１及び第二治具３２の、基板１００に対する変位量を設定する。
Inventors:
Koji Iwami
Youichi Kishida
Youichi Kishida
Application Number:
JP2019562871A
Publication Date:
January 14, 2021
Filing Date:
November 27, 2018
Export Citation:
Assignee:
Nidec Read Corporation
International Classes:
G01B11/00; G01R31/50
Domestic Patent References:
| JP2015163902A | 2015-09-10 | |||
| JP2012225710A | 2012-11-15 |
Foreign References:
| US5150041A | 1992-09-22 |
Attorney, Agent or Firm:
Kozo Aoyama