Title:
硬化膜の製造方法、及び有機ＥＬディスプレイの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2019182041
Kind Code:
A1
Abstract:
ネガ型感光性樹脂組成物を用いて、段差形状を有するパターンを形成可能であって、熱硬化後においても厚膜部と薄膜部とで十分な膜厚差がある段差形状を有するパターンを備える、硬化膜の製造方法を提供すること。また、前記段差形状を有するパターンを備える有機ＥＬディスプレイを製造することが可能な、表示装置の製造方法を提供すること。（１）基板上に、ネガ型感光性樹脂組成物の段差形状を有するパターンを形成する工程、（２）該段差形状を有するパターンを光硬化させる工程、及び、（３）該段差形状を有するパターンを加熱して熱硬化させる工程、をこの順に有する、硬化膜の製造方法であって、該（１）パターンを形成する工程が、フォトマスクを介して活性化学線を照射する工程、を有し、該フォトマスクが、特定のパターン、並びに、透光部、遮光部及び半透光部を有するハーフトーンフォトマスクである、硬化膜の製造方法。
Inventors:
Yuu Tanigaki
Hibino Chika
Ichito Miyoshi
Hibino Chika
Ichito Miyoshi
Application Number:
JP2019516268A
Publication Date:
February 04, 2021
Filing Date:
March 20, 2019
Export Citation:
Assignee:
TORAY INDUSTRIES,INC.
International Classes:
G03F7/027; G03F7/037; H01L27/32; H01L51/50; H05B33/02; H05B33/10; H05B33/12; H05B33/22
Domestic Patent References:
| JP2014167492A | 2014-09-11 |
Foreign References:
| WO2017159876A1 | 2017-09-21 | |||
| WO2015190294A1 | 2015-12-17 | |||
| WO2016143740A1 | 2016-09-15 |
Attorney, Agent or Firm:
Seiryu International Patent Service Corporation