Title:
放電ランプ用カソード部品、放電ランプ、および放電ランプ用カソード部品の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2020171065
Kind Code:
A1
Abstract:
放電ランプ用カソード部品は、線径２ｍｍ以上３５ｍｍ以下の胴体部と、胴体部から先細る先端部と、を具備する。カソード部品は、ＴｈＯ２換算で０．５質量％以上３質量％以下のトリウムを含有するタングステン合金を含む。胴体部の中心を通るとともに胴体部の長さ方向に沿う断面における、中心を含むとともに９０μｍ×９０μｍの単位面積を有する領域の電子線後方散乱回折分析を行う場合、電子線後方散乱回折分析により得られる結晶粒マップは、タングステンを含むタングステン結晶粒とトリウムを含むトリウム結晶粒とを有する。結晶粒マップの複数のトリウム結晶粒の粒度分布の累積分布グラフにおいて、累積頻度が９０％である粒径は、３．０μｍ以上である。
Inventors:
Hitoshi Aoyama
Mizobe Masayasu
Kenji Tomosei
Yasuhiko Nakano
Mizobe Masayasu
Kenji Tomosei
Yasuhiko Nakano
Application Number:
JP2021502027A
Publication Date:
September 13, 2021
Filing Date:
February 18, 2020
Export Citation:
Assignee:
Toshiba Corporation
Toshiba Materials Co., Ltd.
Toshiba Materials Co., Ltd.
International Classes:
H01J61/073; H01J9/02; H01J61/06; H01J61/067
Domestic Patent References:
| JP2014063655A | 2014-04-10 |
Foreign References:
| WO2014021154A1 | 2014-02-06 | |||
| WO2013122081A1 | 2013-08-22 | |||
| WO2014006779A1 | 2014-01-09 | |||
| WO2011108288A1 | 2011-09-09 | |||
| WO2018213858A2 | 2018-11-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Business Corporation Sakura International Patent Office