塗布方法、塗布バーヘッドおよび塗布装置

Title:

塗布方法、塗布バーヘッドおよび塗布装置

Document Type and Number:

Japanese Patent JPWO2021048924

Kind Code:

A1

Abstract:

［課題］高速でメニスカス塗布しても塗布膜厚が変動しにくい塗布方法、塗布バーヘッドおよび塗布装置を提供することである。［解決手段］塗布方法は、塗布バーヘッドと基材の間に塗布液を供給してメニスカスを形成し、基材を移動する塗布方法において塗布方向のバーヘッド塗布面断面が凸の曲線であり、曲線の両端に折れ曲がり点を有する。

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Inventors:

Katsuyuki Naito
Naomi Shinoda
Saito Sancho
Minoru Saida

Application Number:

JP2021510477A

Publication Date:

October 14, 2021

Filing Date:

September 10, 2019

Export Citation:

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