Title:
13 fellows element nitriding thing crystal base board and a functional element
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6169292
Kind Code:
B1
Abstract:
結晶基板１は、１３族元素窒化物結晶からなり、第一の主面２ａおよび第二の主面２ｂを有する下地層２、および、下地層の第一の主面上に設けられた１３族元素窒化物からなる厚膜３を備える。下地層２が、第一の主面２ａと第二の主面２ｂとの間を貫通する低キャリア濃度領域５と高キャリア濃度領域４とを含んでおり、低キャリア濃度領域５のキャリア濃度が１０１７／ｃｍ３以下であり、低キャリア濃度領域５の欠陥密度が１０７／ｃｍ２以下であり、高キャリア濃度領域４のキャリア濃度が１０１９／ｃｍ３以上であり、高キャリア濃度領域４の欠陥密度が１０８／ｃｍ２以上であり、厚膜３のキャリア濃度が１０１８／ｃｍ３以上、１０１９／ｃｍ３以下であり、厚膜３の欠陥密度が１０７／ｃｍ２以下である。
Inventors:
Makoto Iwai
Takashi Yoshino
Takashi Yoshino
Application Number:
JP2016563007A
Publication Date:
July 26, 2017
Filing Date:
August 29, 2016
Export Citation:
Assignee:
Nippon Insulator Co., Ltd.
International Classes:
C30B29/38; H01L21/20; H01L33/12; H01L33/32
Domestic Patent References:
| JP2010070430A | 2010-04-02 | |||
| JP2014088272A | 2014-05-15 | |||
| JP2008060519A | 2008-03-13 |
Foreign References:
| WO2013058352A1 | 2013-04-25 |
Other References:
元木健作: "窒化ガリウム基板の開発", SEIテクニカルレビュー, vol. 第175号, JPN6016000155, July 2009 (2009-07-01), pages 10 - 18, ISSN: 0003580550
Attorney, Agent or Firm:
Masumi Hosoda
Juno Aoki
Juno Aoki
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