Title:
３次元積層造形装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024004588
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】電子銃室の真空度を高めることができる３次元積層造形装置を提供する。【解決手段】３次元積層造形装置１は、電子銃室２と、造形室３と、第１真空ポンプ５と、第２真空ポンプ６と、ビーム経路８と、を備えている。また、３次元積層造形装置１は、差動排気アパーチャー１４と、集束レンズ１２と、軸調整機構１３と、を備えている。差動排気アパーチャー１４は、ビーム経路８の内部空間を２つに分割し、電子ビームＬ１が通過可能な絞り孔１４ａを有する。集束レンズ１２は、電子ビームＬ１を差動排気アパーチャー１４の絞り孔１４ａで集束させる。軸調整機構１３は、電子ビームＬ１の光軸Ｌ２が絞り孔１４ａの中心及び集束レンズ１２の中心の両方を通過するように、電子ビームＬ１の軌道又は、集束レンズ１２及び差動排気アパーチャー１４の位置を調整する。【選択図】図１
Inventors:
Takashi Sato
Atsushi Kimura
Nobuhisa Yamagami
Atsushi Kimura
Nobuhisa Yamagami
Application Number:
JP2022104255A
Publication Date:
January 17, 2024
Filing Date:
June 29, 2022
Export Citation:
Assignee:
JEOL Ltd.
International Classes:
B22F10/28; H01J37/18; B22F10/32; B22F12/44; B22F12/70; B29C64/268; B29C64/364; H01J37/147; H01J37/16
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Shinyu International Patent Office