Title:
Quadrupole mass spectrometer and method for determining its sensitivity decrease
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6335376
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】イオン源の感度低下を可及的速やかに判定できる四重極型質量分析計を提供する。【解決手段】試験体内のガス成分を分析する四重極型質量分析計ＭＡは、フィラメント４１及びグリッド４３を有してガスをイオン化するイオン源４と、４本の柱状電極３１を周方向に所定間隔で配置してなる四重極部３と、四重極部３を通過させた所定質量数のガスイオンを捕集する第１イオンコレクタ２と、イオン源４で生成されたガスイオンを捕集する第２イオンコレクタ６とを備え、第１イオンコレクタ２を流れる第１イオン電流値から試験体内の所定質量数のガス分圧を測定すると共に、第２イオンコレクタ６を流れる第２イオン電流値から試験体内の全圧を測定するように構成し、ガス分析に影響のない所定範囲内の感度を基準感度とし、第２イオン電流値に対する第１イオン電流値の比が基準感度を基に設定される判定値と同等以下になると、感度低下と判定する判定手段を備える。【選択図】図１
Inventors:
Toyoaki Nakajima
Ryota Tanaka
Yujiro Kurokawa
Jun Matsuzaki
Jiro Saruwatari
Ryota Tanaka
Yujiro Kurokawa
Jun Matsuzaki
Jiro Saruwatari
Application Number:
JP2017152249A
Publication Date:
May 30, 2018
Filing Date:
August 07, 2017
Export Citation:
Assignee:
ULVAC, Inc.
International Classes:
H01J49/04; H01J49/06; H01J49/10; H01J49/42
Domestic Patent References:
| JP2012234776A | 2012-11-29 | |||
| JP2000039375A | 2000-02-08 | |||
| JPH09139187A | 1997-05-27 |
Foreign References:
| WO2011102117A1 | 2011-08-25 |
Attorney, Agent or Firm:
Seiryu Corporation