Title:
加速度センサおよびその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2003001217
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、安価で、かつ小型化および軽量化が図れる加速度センサおよびその製造方法を提供することを目的とする。そして、上記目的を達成するために、ベース（１１）に設けられるセンサ部（１７）は、ベース（１１）の枠部（１９）に共晶接合されたキャップ（１３）によって封止される。キャップ（１３）は、導電性を有する半導体材料によって形成されたキャップ本体（１３ａ）と、キャップ本体（１３ａ）の周縁部に設けられる金属膜１３とを備える。枠部（１９）は、ドープドポリシリコンによって形成された枠本体（１９ａ）と、枠本体（１９ａ）上に選択的に設けられた拡散防止膜（１９ｂ）と、接合層（１９ｃ）と備える。接合層（１９ｃ）は、その一部の領域が導電材料によって形成された導体部、他の領域が半導体によって形成された接合部となっている。
Inventors:
石橋 清志
堀川 牧夫
奥村 美香
堀川 牧夫
奥村 美香
Application Number:
JP2002589152A
Publication Date:
October 14, 2004
Filing Date:
June 21, 2001
Export Citation:
Assignee:
三菱電機株式会社
International Classes:
G01P15/08; B81B7/00; G01P1/02; G01P15/125; H01L29/84