Title:
終点検出システム用の調整可能なアクロマティックコリメータアセンブリ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023539809
Kind Code:
A
Abstract:
開示される実施形態は、ターゲット表面を有する処理チャンバに光学的に結合するように構成されたインターフェースを含むコリメータハウジングと、コリメータハウジングにより形成されたエンクロージャに、波長の第１（第２）の範囲に属する光の第１（第２の）の複数のスペクトル成分を送る光ファイバを受容するポートと、コリメータハウジングにより形成されたエンクロージャ内に少なくとも部分的に配置されたアクロマティックレンズを含み、アクロマティックレンズは光の第１（第２）の複数のスペクトル成分をターゲット表面に指向し、ターゲット表面上の第１（第２の）領域を照射し、第２の領域は第１の領域と実質的に同じである、コリメータアセンブリを開示する。
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Inventors:
Han Pengyu
O'Malley John Anthony
Grimbergen Michael N
Lian Ray
Ammesala Upendra
kutney michael
O'Malley John Anthony
Grimbergen Michael N
Lian Ray
Ammesala Upendra
kutney michael
Application Number:
JP2023509680A
Publication Date:
September 20, 2023
Filing Date:
August 10, 2021
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
H01L21/66; G01J3/12; G02B6/32; G02B6/42
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiaki Anzai