Title:
調整可能な赤外線光学フィルタリングデバイス
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023514457
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は調整可能な赤外線光学フィルタリングデバイスを開示し、互いに結合されてそれらの間にチャンバーを形成する第１鏡面及び第２鏡面を含み、第１鏡面と第２鏡面の互いに結合される部位の表面に第１鏡面又は第２鏡面の移動を駆動するための電極が設けられ、第１鏡面と第２鏡面はそれぞれシリコン薄膜を結合加工することによって形成された分布ブラッグ反射器である。シリコン薄膜はシリコン薄膜ウエハによって加工することで、２層のシリコン薄膜及び中間のキャビティから構成される分布ブラッグ反射器を形成することができる。分布ブラッグ反射器はさらにシリコン薄膜とＳＯＩウエハのシリコン薄膜とを結合することによって形成されてもよい。また、第１鏡面と第２鏡面はキャビティに接触するシリコン薄膜上に結合されることで弾性可動構造を形成してもよく、それにより、さらに第１鏡面と第２鏡面の移動を駆動する。該光学フィルタリングデバイスは構造が簡単であり、加工プロセスが成熟し、産業上の商業的生産を実現することができる。【選択図】図１
Inventors:
Guo
Application Number:
JP2022552127A
Publication Date:
April 05, 2023
Filing Date:
January 17, 2020
Export Citation:
Assignee:
SHENZHEN HYPERNANO OPTICS TECHNOLOGY CO., LTD
International Classes:
G02B26/00; B81B3/00; G02B5/26
Attorney, Agent or Firm:
Choi Hailong
Takayuki Kawai
Takayuki Kawai