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Title:
気密性検査システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024006864
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】機器の設置コスト及び操作コストが低く、且つ検査速度が速い気密性検査システムを提供する。【解決手段】被検バルブ部材について気密検査を行うための気密性検査システムであって、被検バルブ部材は第1の側と第2の側を含む。気密性検査システム1は、圧縮空気源14、特殊ガス源15及び特殊ガスセンサを含む。圧縮空気源14は、圧縮空気を提供するために用いられる。特殊ガス源15は、特殊ガスを提供するために用いられる。且つ、特殊ガスの成分は圧縮空気の主成分と異なっている。圧縮空気源14及び特殊ガス源15は第1の側に接続される。特殊ガスセンサは、第2の側に接続されて、特殊ガスの濃度を検知するために用いられる。【選択図】図2

Inventors:
Guo Hirotatsu
Lee
Application Number:
JP2022163909A
Publication Date:
January 17, 2024
Filing Date:
October 12, 2022
Export Citation:
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Assignee:
CHIPMAST AUTOTRONIX CO., LTD.
International Classes:
G01M3/04; G01M3/20
Attorney, Agent or Firm:
▲吉▼川 俊雄
Hiroshi Ichikawa