Title:
液体封入被験体の気密性試験
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022544885
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】大気圧以下の内圧を有する液体封入被験体に対する漏洩検出方法を提供する。【解決手段】液体１２が封入された被験体１４の気密性試験を行う方法であって、前記被験体は大気圧未満の内圧を有し、前記方法は、前記被験体１４を試験チャンバ１６に挿入するステップと、前記試験チャンバ１６を、前記被験体１４の内圧未満の圧力まで排気するステップと、外部から前記試験チャンバにキャリアガスを送ることなく、前記試験チャンバの壁から脱着されたガス成分および前記被験体におけるリークを介して前記被験体から漏洩する前記液体の部分と共に、残留ガス成分を前記試験チャンバから吸引するステップと、前記被験体から漏洩した前記液体の前記部分と共に吸引された前記残留ガス成分を検出器２８に搬送するステップと、前記被験体１４におけるリークを介して漏洩した前記液体１２の部分を、検出器２８により検出するステップと、を含む方法。【選択図】図１
Inventors:
Raismann Maximilian
Wetzich Daniel
Wetzich Daniel
Application Number:
JP2021559388A
Publication Date:
October 24, 2022
Filing Date:
July 22, 2020
Export Citation:
Assignee:
Inficon GmbH
International Classes:
G01M3/02; G01M3/32
Attorney, Agent or Firm:
Shuji Sugimoto
Takeo Tsutsumi
Yuka Kobayashi
Daisuke Kaneko
Kenichi Nakata
Hiroki Taniguchi
Shinji Nakao
Takashi Sasanuma
Takeo Tsutsumi
Yuka Kobayashi
Daisuke Kaneko
Kenichi Nakata
Hiroki Taniguchi
Shinji Nakao
Takashi Sasanuma