Title:
アモルファスシリコン形成組成物、およびそれを用いたアモルファスシリコン膜の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023504987
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】本発明によると、基板との親和性が高い、アモルファスシリコン形成組成物を提供することができる。【解決手段】アミノ基を有するポリシラン、および溶媒を含んでなる、アモルファスシリコン形成組成物。
Inventors:
Naoko Nakamoto
Hideyuki Takagishi
Takashi Fujiwara
Atsuhiko Sato
Hideyuki Takagishi
Takashi Fujiwara
Atsuhiko Sato
Application Number:
JP2022521337A
Publication Date:
February 08, 2023
Filing Date:
November 18, 2020
Export Citation:
Assignee:
Merck Patent Gesellschaft mit beschraenkter Haftung
International Classes:
H01L21/314; C08G77/60; H01L21/208; H01L21/308
Attorney, Agent or Firm:
Nakamura Yukitaka
Miyajima Manabu
Maekawa Hideaki
Itsuko Endo
Miyajima Manabu
Maekawa Hideaki
Itsuko Endo